中文名称：四甲基氢氧化铵
英文名称：Tetramethylammonium Hydroxide
英文别名：TMAH
CAS号：75-59-2
分子式：C4H13NO
分子量：91.15
等级：电子级
MDL号：MFCD00008280
本品为无色结晶（常含三、五等结晶水），极易吸潮，在空气中能迅速吸收二氧化碳，130℃时分解为甲醇和三甲胺，通常使用有10％、25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。有机强碱，极谱试验支持液；电子工业光刻胶刻蚀剂；有机硅行业中，自消除碱催化剂及其它。
结构式：
指标：
检 测 项 目 测定方法 （CH3）4NOH （CH3）4NOH·5H2O
外观 目测 无色液体 白色晶体
主含,% 酸碱滴定法 24.5～25.5 ≥99.2
色度（Hazen） 色度仪 ≤5 ≤5
氯离子,% 莫尔法 ≤0.02 ≤0.05
碳酸根，% 酸碱滴定法 ≤0.1 ≤0.2
K, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1
Na, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1
Ca, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1
Mg, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1
Fe, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1
灼烧残渣(260℃),% 热烘箱法 ----- ≤0.02
颗粒 (≥0.5um) 激光散射法 ≤100个/ml -----
四甲基氢氧化铵的制法:离子膜电解法
用途：
1.在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等 的催化剂；
2.在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂；
3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；
4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。
优点：
它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”，在分析中可用于极谱试及用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。
98%四甲基氢氧化铵
四甲基氢氧化铵（电子级））
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