四甲基氢氧化铵

英文名称：Tetramethylammonium Hydroxide

英文别名：TMAH

CAS号：75-59-2

分子式：C4H13NO

分子量：91.15

等级：电子级

MDL号：MFCD00008280

 本品为无色结晶（常含三、五等结晶水），极易吸潮，在空气中能迅速吸收二氧化碳，130℃时分解为甲醇和三甲胺，通常使用有10％、25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。有机强碱，极谱试验支持液；电子工业光刻胶刻蚀剂；有机硅行业中，自消除碱催化剂及其它。

结构式：

指标：

检 测 项 目 测定方法 （CH3）4NOH （CH3）4NOH·5H2O 

外观 目测 无色液体 白色晶体 

主含,% 酸碱滴定法 24.5～25.5 ≥99.2 

色度（Hazen） 色度仪 ≤5 ≤5 

氯离子,% 莫尔法 ≤0.02 ≤0.05 

碳酸根，% 酸碱滴定法 ≤0.1 ≤0.2 

K, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1 

Na, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1 

Ca, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1 

Mg, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1 

Fe, ppm ICP-AES ≤0.5 ≤1 

灼烧残渣(260℃),% 热烘箱法 ----- ≤0.02 

颗粒 (≥0.5um) 激光散射法 ≤100个/ml ----- 

 四甲基氢氧化铵的制法:离子膜电解法

  用途：

 1.在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等  的催化剂；

 2.在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂；

 3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；

 4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。

 优点： 

它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”，在分析中可用于极谱试及用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。