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2022-02-14 | |
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| 纯铌超导腔 电子束物理气相沉积(EB-PVD)是电子束技术与物理气相沉积技术的有机结合,是利用高能电子轰击沉积材料,使其迅速升温气化而凝聚在基体材料表面的一种表面加工工艺。 |
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