电子束物理气相沉积(EB-PVD)是电子束技术与物理气相沉积技术的有机结合，是利用高能电子轰击沉积材料，使其迅速升温气化而凝聚在基体材料表面的一种表面加工工艺。根据沉积材料的性质，可以使涂层具有优良的隔热、耐磨、耐腐蚀和耐冲刷性能，对基体材料产生一定的保护作用。

　　该技术目前主要应用于以下几个方面。

　　1)耐磨涂层:选用硬度高的耐磨涂层材料沉积于工具和模具表面，可以大幅度提高工具和模具的使用寿命。

　　2)防腐涂层:由于EB.PVD技术制备出的涂层致密程度高，对于在腐蚀环境下工作的零件，其防腐效果非常好。除此之外，EB.PVD得到的涂层形貌良好，残余应力也明显地提高了基体材料的防腐性能。

　　3)热障涂层:热障涂层(TBCs)是由绝热性能良好的陶瓷材料构成，它沉积在耐高温金属或超合金表面，热障涂层对于基底材料起到隔热作用，降低基底温度，使得用其制成的器件(如发动机涡轮叶片)能在高温下运行，并且可以使器件(发动机等)热效率达到60%以上。同时，TBCs还具有抗腐蚀和抗氧化的作用 。